省重点研发计划项目“碳化硅基片高效精密加工及其成套技术设备关键技术”通过验收

11月20日，公司牵头承担的湖南省重点研发计划“碳化硅基片高效精密加工及其成套技术设备关键技术”项目顺利通过湖南省科技厅组织的综合绩效评价验收。验收会由湖南省科学技术事务中心研究员谢静波主持，浏阳市科技局党组副书记、副局长周晔虹参会，集团董事长许世雄先生出席会议并致欢迎词。

绩效评价专家组由3位技术专家和1名财务专家组成，专家组通过听取项目负责人对项目实施情况、形成技术及主要成果、经费执行情况等方面的详细汇报，结合现场察看产品、审阅相关验收材料及质询讨论，一致认为项目组提交的验收资料齐全、规范、符合项目验收要求。项目完成了任务书规定的考核指标，对碳化硅基片高效精密磨削、研磨与抛光加工工艺进行了系统研究，在高精度气浮电主轴技术、高精度气浮旋转转台技术、抛光盘压力高精度稳定控制技术、高精度静压转台技术等核心技术取得了突破，提出了碳化硅减薄磨床立柱布局新结构。研制了高精度立式单面磨床、高精度立式双面研磨(抛光)机等三款整体技术具有国际先进水平的产品，取得了显著的经济和社会效益，建议加大新产品推广力度，同时利用相关技术开发系列产品满足市场需求，一致同意通过验收。

项目顺利通过验收，标志着公司在第三代半导体加工装备领域核心技术突破取得重要成果，yl23411永利集团数控将持续深化项目技术转化与推广应用，加大研发投入力度，推动半导体加工装备技术迭代升级，为湖南先进制造业高质量发展贡献力量。

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