典型加工零件
典型加工零件
光学镜片，半导体晶圆的研磨。
设备亮点
设备亮点
（1）高精度：超高回转精度，端面跳动，径向跳动≤0.3μm；
（2）长寿命：低振动，无磨损；
（3）低发热：紧凑风冷设计，适合高速应用；
（4）无污染：无矿物油污染；
（5）个性化定制：超高精度气浮主轴专利技术，支持个性化定制。
技术参数
技术参数
（1）高精度：超高回转精度，端面跳动，径向跳动≤0.3μm；
（2）外壳直径148mm的主轴径向刚度、轴向刚度≥70N/um;
（3）外壳尺寸和磨头尺寸可根据使用需求定制。
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