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蓝宝石衬底单面抛光工艺

蓝宝石衬底单面抛光工艺是制备高质量蓝宝石衬底的关键步骤,其核心在于通过数控抛光技术实现表面全局平坦化,同时控制表面粗糙度、损伤层及残余应力。

关键词

蓝宝石衬底单面抛光

蓝宝石衬底抛光

衬底单面抛光


所属分类


典型加工零件

设备亮点


蓝宝石衬底具备优异的光学性能和化学稳定性,通常用于超高速集成电路(SOS)、工业 LED 等领域,并广泛应用于红外军事器件、航天飞行器、高强度激光器和光通信的窗口材料等尖端领域和特殊环境。

 

工作原理:研磨、抛光是在刚性研具上注入磨料,在一定的压力下,通过工件与研具之间的相对滑动,并通过磨粒(研磨液、抛光液)的切削使被加工材料的表面脱落,是降低材料的表面粗糙度的一种精密加工方法;研磨设备和抛光设备的机械结构具有相似性,主要的差异在于研磨料/抛光料和研磨垫/抛光垫的选取,即同一型号的设备仅微调部分零部件就可以应用于处理不同材料的不同步骤中。

 

设备优势:

1、机床设计刚性好,精度高,关键部件设计采用有限元分析,所有导轨和轴承均达到精密水平,抛光盘最高转速90r/min,工件盘最高转速90r/min,抛光效率高;
2、四个工件轴可单独控制抛光压力、抛光时间、转速,智能化程度高,方便做加工工艺研究;
3、采用整体防护装置,设备更加环保及安全;
4、采用PLC控制、人机界面友好,各关键传感器采用参数化显示,方便操作和控制;
5、手动+自动双操作模式。手动模式下可通过触摸屏便捷调整抛光压力、转速等;自动模式下可自动按设定程序抛光加工。

 

技术参数

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关键词:数控磨床系列、研磨抛光机系列、智能装备、冶金能源装备
功能部件

 

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